半導(dǎo)體器件密封試驗

半導(dǎo)體器件密封試驗

半導(dǎo)體器件密封試驗?zāi)康恼菣z測半導(dǎo)體器件的漏率。 中科檢測環(huán)境可靠性實驗中心擁有各種半導(dǎo)體器件機械和氣候試驗設(shè)備,具備密封試驗?zāi)芰Γ瑸榘雽?dǎo)體器件、設(shè)備提供專業(yè)的密封試驗服務(wù)。
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半導(dǎo)體器件密封試驗 試驗背景

為了防止半導(dǎo)體設(shè)備、集成電路等部件表面因污染水蒸氣等雜質(zhì)而導(dǎo)致性能退化,必須用管殼密封。然而,由于各種原因,管殼的接頭或引線接頭往往會產(chǎn)生一些肉眼難以找到的小孔。因此,組件包裝后,需要采取一些方法來檢測這些小孔的存在。
半導(dǎo)體器件密封試驗?zāi)康恼菣z測半導(dǎo)體器件的漏率。 中科檢測環(huán)境可靠性實驗中心擁有各種半導(dǎo)體器件機械和氣候試驗設(shè)備,具備密封試驗?zāi)芰Γ瑸榘雽?dǎo)體器件、設(shè)備提供專業(yè)的密封試驗服務(wù)。

半導(dǎo)體器件密封試驗 試驗方式

1、細檢漏:放射性氪方法
在具有適當(dāng)?shù)姆派湫允聚櫄怏w的箱內(nèi)加壓之后,測量器件內(nèi)部所呈現(xiàn)的放射性強度,從而確定半導(dǎo)體器件的漏泄率,適用于玻璃、金屬或陶瓷(或它們的組合體)氣密封裝的器件。
2、細檢漏:使用質(zhì)譜儀的示蹤氣體(氦)方法
適用于所有空腔型封裝,除示蹤氣體壓力是單一的,封裝的機械強度隨尺寸、壁厚面積比、材料和結(jié)構(gòu)等而變化。
3、粗檢漏:使用電子檢測儀的全氟化碳氣體法
通過對浸在液體中的半導(dǎo)體器件加壓而測量逸出器件的全氟化碳的量的多少來確定半導(dǎo)體器件的漏率,適用于玻璃、金屬或陶瓷(或他們的組合)氣密封裝的器件。
4、其他方法:
粗檢漏:全氟化碳氣泡檢測法
增重粗檢漏法
染料滲透粗檢漏法
粗檢漏重檢

半導(dǎo)體器件密封試驗 試驗標(biāo)準(zhǔn)

GB/T 4937.1-2006 半導(dǎo)體器件機械和氣候試驗方法 第1部分:總則
GB/T 4937.8 半導(dǎo)體器件機械和氣候試驗方法 第8部分:密封
IEC 60749- 8:2002 半導(dǎo)體器件機械和氣候試驗方法第8部分:密封
GB/T 2423. 23-2013環(huán)境試驗第2部分: 試驗方法試驗Q:密封

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